■高垂直解析度：Sq解析度　0.01nm　（Phase 樣式）
■高精度：標準段差再現性 σ< 0.1% (88nm段差測定時）
■層断面計測：光学長　 > 1.5μm 的厚度、解析度0.1μm


裝置名	非接触表面・層断面形状計測系統 VertScan®2.0 　R5500G
接觸式／非接觸式	非接触
方式	光干渉方式
内部鏡頭	0.5x 、1.0x
物鏡	2.5x 、 5x 、 10x 、 20x、 50x 、110x、菱化干渉計
測定用CCD相機	1/3" 、 1/2"
視野 CCD1/3“ 1.0X鏡頭	1.0X鏡頭對物2.5×(1894 X 1420μm）～50×（94 X 71μm）
視野 CCD1/2“ 0.5X鏡頭	0.5X鏡頭對物2.5×(5016 X 3762μm）～50×（250 X 188μm）
測定畫像數	最大　640　X　480
Ｚ測定範圍(壓電粒子）	150μm
Ｚ測定範囲（電動機）	3000μm
Sq分解能	0.01nm(Phase樣式）、0.10nm(Wave樣式）　5.00nm(Focus樣式）
標準金屬板尺寸	160×160mm
ＸＹ電動載台	50×50mm、150×150mm（選購）
校正距離基準	VLSI社製標準段差

■高垂直解析度：Sq解析度 0.01nm （Phase 樣式） ■高精度：標準段差再現性 σ< 0.1% (88nm段差測定時） ■層断面計測：光学長 > 1.5μm 的厚度 、解析度0.1μm