寫實色彩的３D搭載　 VertScan®3.0 R4300C

㈱菱化系統

非接觸表面・層斷面形状計測系統 VertScan®

非接觸表面・層斷面形状計測系統
VertScan®2.0 R3300G Lite

■高垂直解析度：Sq解析度 0.01nm（Phase 樣式
■高精度：標準段差再現性<0.1% (88nm段差測定時）
■層断面計測：光学長 > 1.5μm 的厚度、解析度0.1μm

非接觸表面・層断面形状計測系統
VertScan®2.0 R5500G

■高垂直解析度：Sq解析度　0.01nm　（Phase 樣式）
■高精度：標準段差再現性 σ< 0.1% (88nm段差測定時）
■層断面計測：光学長 > 1.5μm 的厚度 、解析度0.1μm

非接觸表面・層断面形状計測系統
VertScan®2.0 R6500G

■高垂直解析度：Sq解析度　0.01nm（Phase 樣式）
■高精度：標準段差再現性 σ< 0.1% (88nm段差測定時）
■層断面計測：光学長> 1.5μm 的厚度 、解析度0.1μm

■「Color Fringe Scan」：二高速干渉物鏡取得彩色畫像
■統合「顏色觀察」「計測」「解析」
■「3波長LED」：S/N比的高度色彩畫像