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本裝置以雷射探針方式，實現對於形状・尺寸・表面粗度等的完全非接度、高精度、自動測量的系統，對將來要求更小型・高精度・低成本的光學或半導體產品，可廣泛對應超精密加工零件等的開發部門至生産線的品質管理等多範圍測量機。 |
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| 特徴 |
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發售以來４年，將非接觸高度測量的代名詞NH-３的高精度機種NH-３SP的功能回饋，成為新機種NH-３N登場 |
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請感受不受低反射率影響的Auto Focus・完全非破壞測量・追求Z以及XY精度究極的非接觸的世界 |
| 規格・測量功能 |
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規格 |
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| 高度最小解析度 |
0.01μm |
| 高度絕對精度 |
±1μm/10mm |
| 高度重現性 |
σ=0.03μm以内 |
| 高度測量範圍 |
10mm(～100mm) |
| XY最小解析度 |
0.1μm
XY絕對精度=±(1+5L/150)μm
XY測量範圍=150×150mm～ |
| 控制軟體OS |
WindowsNT4.0 |
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■ 測量功能
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三次元形狀測量・段面形狀測量・粗度測量・自動測量・各種測量功能 |
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由加工至成像性能的綜合評估裝置
三鷹光器(株)／(株)菱光社