2次元複折射評估系統 PA-100主要規格 主 要 規 格 PA-110 PA-110L 測量範圍 0～130nm（1/4λ） 重複精度 ±1.0nm以下 複折射畫素數 1120×868 (≒100万） pixels 測量波長 520nm 尺寸 310×395×605.5 mm 450×538×915.5 mm 最大觀測區域 100×136 mm 230×300 mm 重量 18kg 24kg 介面 GigE 電源 AC100V 軟體 PA-View2.0 其他附屬品 筆記型電腦、標準鏡頭、使用說明書 ■ 標準型之外有光源尺寸加大的PA-110L ※ 各規格有可能無預告變更 ※ 本產品測量的內部扭曲為光學上的測量，測量值為以光學位相差（單位：nm）顯示
