■高垂直解析度：Sq解析度　0.01nm　（Phase 樣式）
■高精度：標準段差再現性 σ< 0.1% (88nm段差測定時）
■層断面計測：光学長　 > 1.5μm 的厚度、解析度0.1μm

透明多層構造由対象物的層構造來做解析、由複数的光學界面反射光的觀測系來捕捉。
但是VertScan®2.0、以垂直掃描、觀測系的高度座標和利用由各界面得到的反射光的干涉を來形成斷面的畫像。


裝置名	非接触表面・層断面形状計測系統 VertScan®2.0 R6500G
接觸式／非接觸式	非接触
方式	光干渉方式
内部鏡頭	0.5x 、 1.0x
物鏡	2.5x 、 5x 、 10x 、 20x、 50x 、110x（電動物鏡旋轉台）、菱化干渉計
測定用CCD相機	1/3" 、 1/2"
視野 CCD1/3“ 1.0X鏡頭	1.0X鏡頭對物2.5×(1894 X 1420μm）～50×（94 X 71μm）
視野 CCD1/2“ 0.5X鏡頭	0.5X鏡頭對物2.5×(5016 X 3762μm）～50×（250 X 188μm）
測定畫像數	最大　640　X　480
Ｚ測定範圍(壓電粒子）	100μm
Ｚ測定範圍（電動機）	3000μm
Sq分解能	0.01nm(Phase樣式）、0.10nm(Wave樣式）　5.00nm(Focus樣式）
標準金屬板尺寸	305×355mm
ＸＹ電動載台	200×200mm、300x300mm
校正距離基準	VLSI社製標準段差

■高垂直解析度：Sq解析度 0.01nm （Phase 樣式） ■高精度：標準段差再現性 σ< 0.1% (88nm段差測定時） ■層断面計測：光学長 > 1.5μm 的厚度 、解析度0.1μm