WPA-100 廣域2次元複折射評估系統 基本原理

基 本 原 理

高次位相差的測量原理

PA-110的位相差測量上限為130nm,但有希望測量更大的位相差的全面分部評估的需求。

因此,開發新的廣域偏光影像感應器,成功將測量範圍擴張至兩倍約260nm的範圍

廣域偏光影像感應器,不僅擴張測量範圍,亦有動作波長範圍較廣的特徵
WPA-100以廣域偏光影像感應器與可變波長濾鏡,廣域LED光源的組合,可進行多波長的測量

將複數波長測量的結果,由精密的光學計算演算法的比較演算,可進行更大的位相差測量(右下圖表)

WPA-100的操作方法與PA-110同様簡單
 
首先於未放置測量物的狀態拍攝光源。
 
接著放置試料,只要按下測量按鈕即可測量試料的全面複折射分布。