 Micro Lens Array形狀/光學特性評估裝置 |
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| 特徴 |
| 由加工至成像性能的綜合評估裝置 |
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以三鷹光器獨特的雷射探針方式進行表面形狀測量與高精度影像處理，可進行鏡片的光學特性評估的系統 |
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適合逐漸大面積化的Micro Lens Array(MLA)的研究開發，品質管理 |
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| 測量功能 |
| ■測量功能 |
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鏡片形狀測量
（以雷射探針測量） |
□各鏡片表面的曲率半徑(Rc)、中心座標值
□真圓度
□頂點高度、XY座標值
□斷面・三次元形狀測量、表面粗度測量 |
光學特性評估
（以影像處理 測量） |
□實效焦點距離（ｆｂ，ｆｆ）
□Back Focus(BFL)
□各鏡片的聚光位置(Sx,Sy,Sz)、位置偏移
□各鏡片的聚光點尺寸(Wx,Wy)
□透過率
□焦點面的成像評估 （結構收差、歪曲收差、etc）
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■ 測量範例
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| 非球面鏡片的結構收差影像 |
MLA三次元形狀測量結果 |
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| 測量應用例 |
□液晶投影器用MLA
□蟲眼鏡頭與模具
□CCD On Chip Lens
□Rod Lens Array
□光積體電路用平板Micro Lens
□光通信用MLA以及模具
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三鷹光器(株)／(株)菱光社
由加工至成像性能的綜合評估裝置
