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本裝置為融合雷射探針式三次元測量器與旋轉載台、資料的接合（Stitching）技術，實現具有60°以上的傾斜面的高NA非球面形狀的次微米測量的系統。
測
量
應
用
例 |
□手機用攝影機鏡片
□數位像機鏡片
□DVD Picup Lens
□聚光透鏡
□Ball Lens
□Micro Lens（Array）
□鑽石車刀尖端R形狀
□光纖先端R形狀
□內視鏡鏡片
□非球面鏡片模具
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| 規格 |
| ■ θ載台部 |
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| 可動範圍 |
360度Endless |
| 最小移動量 |
0.001°/step |
| 移動精度 |
±0.03°/360° |
| 移動重現性 |
±0.01° |
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■ 試料固定部
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| 固定方式 |
真空吸附或螺絲固定 |
| 固定治具更換部 |
燕尾方式 |
| 測量工件尺寸 |
Φ20mm以下 |
| 高度測量範圍 |
5mm |
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■ 標準軟體 |
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高NA非球面形狀測量軟體 |
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■ 附屬品
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| 真空幫浦 |
（附吸附on/off開關） |
1個 |
| 基準球 |
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1個 |
| 鏡片固定治具 |
Φ10mm以下、Φ20mm以下用 |
各1個 |
| θ載台固定具 |
（One Touch燕尾溝方式） |
1個 |
| 載物台追加工 |
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1式 |
| θ載台控制器 |
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1個 |
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■ 選配
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模具固定治具・非球面形状評估軟體・調芯治具・偏芯治具 |
| 非球面鏡片測量時 |
非球面鏡片模具測量時 |
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| 高NA非球面鏡片（±65°） |
非球面鏡片模具（±50°） |
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| 非球面嵌合誤差 |
非球面嵌合誤差 |
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1.有效測量角度（±30°）
範圍個別測量 |
2.資料合成 |
3.非球面
嵌合處理 |
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高NA非球面形狀測量裝置
三鷹光器(株)／(株)菱光社
由加工至成像性能的綜合評估裝置
