非接觸三次元測量裝置装置 NH系列 三鷹光器(株)／(株)菱光社 ･････････････････････････････････････････････････････・･･････････・･･････････････････････････････････････・・・・・・・● 特徴・・・適用於8吋晶圓、Lead Flame等高密度、大型化的半導體產品的品質管理 □ 適用於高密度、大型化的半導體產品的品質管理 □ 測量範圍(X,Y,Z)=(250,200,10)mm 選配時Z=110mm 三鷹光器(株)／(株)菱光社 ･････････････････････････････････････････････････････・･･････････・･･････････････････････････････････････・・・・・・・● 特徴 □ 以門型構造對精密模具等，實現大型重量物的高精度測量 □ 測量範圍(X,Y,Z)=(300,400,120)mm 選配時Z=170mm 三鷹光器(株)／(株)菱光社 ･････････････････････････････････････････････････････・･･････････・･･････････････････････････････････････・・・・・・・● 特徴 □ 液晶顯示器的Pattern □ 大型非球面鏡面等直接測量 □ 測量範圍(X,Y,Z)=(400,500,170)mm 由加工至成像性能的綜合評估裝置 兼具優良性能與高性價比的NH系列標準系統 可以μm單位測量60°以上的傾斜面的接合測量技術 極限測量精度、解析度的高精度版 適用於8吋晶圓、Lead Flame等高密度、大型化的半導體產品的品質管理 以門型構造對精密模具等，實現大型重量物的高精度測量 液晶顯示器的Pattern，大型非球面鏡面等直接測量
三鷹光器(株)／(株)菱光社
由加工至成像性能的綜合評估裝置
